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    产品名称:电镜屏蔽/主动消磁系统
    产品型号:SC26
       牌:英国
    SpicerConsulting 
       地:英国

    产品参数

    晶片传输机器人在300 mm的晶片中活动,会产生9 KHz的磁场,会限制电子束的性能,以及下一个半导体CD节点。SC26是一种宽带消磁系统,可以实现从DC9 KHz以上范围的磁场消除。为了实现宽带消磁,SC26采用低电感场消除电缆,安装在电子束工具附件中。

    SC26具有2200 KHzAC磁场传感器(蓝色),可以耦合,优化电子束性能,对于低至10 Hz的磁场具有良好效果。也可以用于DC磁场消除,只需每个通道添加一个SC24/DC+AC传感器和一个传感组合器。

    SC26并不像SC24那样安装使用,不能用粗线缆构建一个房子结构,从而获得较低的磁场。

    在电子束300 mm的范围内获得良好的消磁效果

    实时、宽带消磁,从DC9 KHz以上磁场

    磁场跃变响应速度:10μs以内
    通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能 
    消除和监测交流磁场

    自动运行,连续实时补偿磁场 

    完整的X, Y, Z三轴消磁系统
    可消除场强高达60mG (6.0 μT) pk-pk智能用户界面,显示系统需为3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其参数设定及操作皆为微电脑控制

    可同时显示ACDC磁场值,单位可选高斯或者特斯拉
    X&Y&Z轴磁场检出<RMS250uG RMS OK绿色指示灯会亮
    高灵敏度传感器,可精确反馈环境磁场变化;支持双传感器,用于抵消TEM透射电镜和高突变环境磁场 
    USB
    监控端口

    本设备为免校正仪器,其内部的自我归零功能会自动校正
    低成本高性能系统

     

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